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案例024(3.0) _j<46^ ,}`II|.oB 該案例主要說明了周期性結(jié)構(gòu)內(nèi)電磁場分布的嚴(yán)格計(jì)算。出于此目的,研究了兩種不同的系統(tǒng):具有狹縫的矩形光柵和具有三角形狀的介質(zhì)光柵(等腰三角形)。 h7I_{v8 3VALrb; 1. 建模任務(wù)1:金屬光柵 yy/wSk p0'A\@| XP6R$0yN 在Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場分布的嚴(yán)格仿真。 b/5;377_ 對于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 mY;Y$fz;xL .w[]Q;K_[) 2. 建模任務(wù)2:介質(zhì)光柵 ;f0+'W H%Q@DW8~@ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場分布的嚴(yán)格仿真。 S37Bl5W 對于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 ,C(")?4aJ BE}lzn=sF 3. 建模任務(wù) ']A+wGR&r !t~S.`vF q=UKL`;C}U VirtualLab的光柵工具箱提供了場內(nèi)部分量分析器,用戶可以對光柵結(jié)構(gòu)中的電磁場分布進(jìn)行嚴(yán)格計(jì)算。 &[qLl 通過該分析器,可以對任意形狀的光柵進(jìn)行研究。 F~{yqY5]n 場分布計(jì)算能夠檢測結(jié)構(gòu)內(nèi)部的熱點(diǎn) Q[`_Y3@j N;<<-`i 4. TE和TM照明線性光柵 +anNpy 'UW7zL5 5. 鉻狹縫的分析 i&{8a3B wgzjuTqwBF !=|3^A 通過計(jì)算場分量,可描述多種場量,如振幅、位相、振幅平方。 QjF.U8 左圖顯示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,這是唯一一個(gè)不為零的場量。 u|O5ZV-cd 對于金屬結(jié)構(gòu),由于集膚效應(yīng),場合能量主要位于狹縫(空氣)內(nèi)。 b!<?,S 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加) Fu{[5uv 3DMfR
ofg 6. 三角光柵的分析 'S E%9 左圖為三角介質(zhì)光柵,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 q
( H^H 8WfF: R; tezsoR!.ak 如果是介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu),場合能量主要集中在光柵脊內(nèi)。 x_bS-B)%Y: 由于三角高度輪廓是在x-z平面內(nèi)變化,電場的y分量幾乎沒有影響。 y{U'\ 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。 H@,jNIh~h 左圖顯示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 B5zu?AG UH.M)br 與TE偏振光照明對比,由于三角光柵形狀,場和能量分布受到強(qiáng)烈的影響。 8O("o7~" 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。 L?4c8!Q `3/,-
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