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案例024(3.0) ,4^9cFVo 8K\'Z 該案例主要說明了周期性結(jié)構(gòu)內(nèi)電磁場(chǎng)分布的嚴(yán)格計(jì)算。出于此目的,研究了兩種不同的系統(tǒng):具有狹縫的矩形光柵和具有三角形狀的介質(zhì)光柵(等腰三角形)。 NP K#].F 0'?V|V=v 1. 建模任務(wù)1:金屬光柵 #XTY7,@P iNod</+"K <<
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a<I 在Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。 DtzA$|Q} 對(duì)于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 uY^v"cw/F xS6(K 2. 建模任務(wù)2:介質(zhì)光柵 \Fj5v$J- 7 I_1 #O 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。 '[Mlmgc5 對(duì)于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 :s'o~
xGYSi5}z 3. 建模任務(wù) 9z5\*b s 4$yV%[j ]g{hhP3> VirtualLab的光柵工具箱提供了場(chǎng)內(nèi)部分量分析器,用戶可以對(duì)光柵結(jié)構(gòu)中的電磁場(chǎng)分布進(jìn)行嚴(yán)格計(jì)算。 W8w3~ 通過該分析器,可以對(duì)任意形狀的光柵進(jìn)行研究。 Y,k(#=wg 場(chǎng)分布計(jì)算能夠檢測(cè)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的熱點(diǎn) _&8O~8tW h ?uqLsRl 4. TE和TM照明線性光柵 weNzYMf% )!tCC-Cr 5. 鉻狹縫的分析
w3^NL(> kTnOmAw cVO,~I\\ 通過計(jì)算場(chǎng)分量,可描述多種場(chǎng)量,如振幅、位相、振幅平方。 7#QLtU 左圖顯示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,這是唯一一個(gè)不為零的場(chǎng)量。 IQ ){(Y 對(duì)于金屬結(jié)構(gòu),由于集膚效應(yīng),場(chǎng)合能量主要位于狹縫(空氣)內(nèi)。 v# 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加) YiD-F7hf.* _p\629` 6. 三角光柵的分析 z0#-)AeS 左圖為三角介質(zhì)光柵,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 !Citzor /:bKqAz;M ,zQo {. 如果是介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu),場(chǎng)合能量主要集中在光柵脊內(nèi)。 y8G&Wg
aCi 由于三角高度輪廓是在x-z平面內(nèi)變化,電場(chǎng)的y分量幾乎沒有影響。 <lUOJV{&\ 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。 4|`Yz%' 左圖顯示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 >DHp*$y U4Z[!s$ 與TE偏振光照明對(duì)比,由于三角光柵形狀,場(chǎng)和能量分布受到強(qiáng)烈的影響。 C)NC&fV 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。 Rj^7#,993 COR;e`%, 7. 總結(jié) 8O>}k -;^;2#](g VirtualLab的光柵工具箱能夠?qū)θ我庑螤罟鈻沤Y(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格分析。 F8H'^3`b`U 內(nèi)部場(chǎng)分量分析器允許計(jì)算所研究光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部的所有電磁場(chǎng)分量。 x<)G( Xe* 對(duì)于該類型的計(jì)算,VirtualLab采用全矢量傅里葉模態(tài)法。 !BDUv( 光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的研究能夠進(jìn)行熱點(diǎn)識(shí)別(高能密度),如果采用高能光源,這些熱點(diǎn)可能損壞元件。 g&
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