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fib離子源發(fā)展 于此同時(shí),英國 Eltham實(shí)驗(yàn)室的BC=m也發(fā)表了第一個(gè)針尖型的液態(tài)金屬離子源。 此后,美國 Oregon grad的lwswansen、J0ha等人也紛紛投入液態(tài)金屬離子源的研究,并很快將液態(tài)全屬離子源應(yīng)用于FB系統(tǒng)。經(jīng)過30多年的發(fā)展,液態(tài)金屬離子源技術(shù)已經(jīng)趨于成熟。 目前,種類繁多的單質(zhì)源和合金源的制備工藝已經(jīng)日趨成熟,也積累了相當(dāng)豐富的有關(guān)液態(tài)全屬離子源特性的計(jì)算和實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。Ga源、Au源等一部分離子源在商品生產(chǎn)的聚焦離子束加工系統(tǒng)和二次離子質(zhì)譜儀分析系統(tǒng)中也已經(jīng)獲得實(shí)際應(yīng)用。但是,這種離子源的工作機(jī)理至今仍然不完全清楚,在一些基本問題上,如,離子潭在離子發(fā)射區(qū)域附近的形狀和大小、離子形成的機(jī)理、影響高源工作特性的主要因素等,諸多研究者還存在著明顯的分歧。 |
