顯微鏡檢測能發(fā)現(xiàn)的問題
尋找多余物和外來沾污物如殘留金絲,芯片邊緣碎裂留下的硅碴,焊料碴,口水星子(高溫存放后常呈現(xiàn)棕黃色小圓點),水漬,殘存光刻膠,灰塵。
判斷金屬化層表面有無鈍化層。如果方形鍵合電極周圍有方框則說明表面有鈍化層,與鍵合點下的電極相比有明顯的色差。同時有鈍化層時的芯片各擴散區(qū)之間的顏色不如無鈍化層時鮮艷,如果鈍化層呈現(xiàn)淺黃色,說明鈍化層是聚酰亞胺有機涂層。 根據(jù)顏色尋找工藝缺陷。芯片表面的二氧化硅鈍化層不同的厚度有不同的干涉顏色,如灰0.01微米,黃褐色0.03微米,茶色0.05微米,藍0.08微米,紫色0.1微米,綠色0.18微米,黃色0.21微米,橙色0.22微米,紅色0.25微米(指一次干涉顏色),故根據(jù)芯片表面的顏色可判斷不同擴散區(qū),或根據(jù)芯片表面上反常的顏色斑點來判斷鈍化層和光刻/擴散缺陷。 根據(jù)幾何形狀判斷。 可判斷線路設(shè)計結(jié)構(gòu)缺陷,金屬化傷痕和裂斷,金屬化燒毀,鍵合點形狀和位置,鍵合線與芯片的夾角,MOS管的溝道露出,接觸孔的覆蓋情況,芯片缺口或裂縫接近有源區(qū),芯片安裝方向和焊料多少。 通?设b別出的失效模式或機理如下: ①過電應(yīng)力引起的鍵合線或金屬化的開路或短路,以及較輕的電損傷痕跡如靜電擊穿點。 ②鍵合線或金屬化焊接區(qū)的開路及短路。 ③金屬電遷移。 ④金屬化缺損或剝皮。 ⑤封裝內(nèi)部的金屬腐蝕。 ⑥氧化層污染,變色,缺陷,裂縫。 ⑦芯片表面或芯片襯底的裂縫。 ⑧掩模未套準。 ⑨外來多余物,特別是導(dǎo)電的可動多余物。 ⑩鍵合位置不良。 ⑾管腳腐蝕或鍍層脫落。 ⑿經(jīng)過介質(zhì)層或氧化層的短路。 |