蛾眼減反結(jié)構設計與加工承接
蛾眼結(jié)構可以減少反射率,原因在于:當材料表面納米結(jié)構尺度小于光波長時,光波無法辨認出該納米結(jié)構,而圓錐型的蛾眼結(jié)構可以使材料表面的折射率沿深度方向呈連續(xù)變化,從而減小折射率急劇變化所造成的反射。
對于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結(jié)構,需要對其進行嚴格的矢量計算和分析,通過使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM)以及參數(shù)運行(New Parameter Run)和參數(shù)優(yōu)化(New Parameter Optimization)功能,可以實現(xiàn)不同角度以及不同波長條件下低反射率的蛾眼結(jié)構的設計。 目前,我們采用納米壓印技術,可以在玻璃或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結(jié)構,實現(xiàn)減反效果。在可見光范圍內(nèi)可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段,結(jié)合納米壓印和等離子刻蝕工藝,可以在硅表面加工蛾眼結(jié)構來減少其對紅外光的反射。 ![]() ![]() 上圖:VirtualLab Fusion設計的抗反射蛾眼結(jié)構 ![]() 下圖:加工出來的抗反射蛾眼結(jié)構 加工咨詢qq:939912426 |