美國NANOVEA納米壓痕測試儀 ~>~qA0m"m  
美國NANOVEA公司是一家全球公認(rèn)的壓痕測試儀的領(lǐng)航者，生產(chǎn)的壓痕測試儀是目前國際上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域最先進的設(shè)備，主要應(yīng)用在：半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)； H5UF r,t  
特點：主要用于納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過壓入載荷大小與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。 #!#s7^%K&  
•完全符合ISO14577、ASTME2546 n)35-?R/M  
•光學(xué)顯微鏡自動觀察 pNmWBp|ER  
•獨特的熱漂移控制技術(shù) V 7ZGT  
•可硬度、剛度、彈性模量、斷裂剛度、失效點、應(yīng)力－應(yīng)變、蠕變性能等力學(xué)數(shù)據(jù)。 a <F2]H=J  
•適時測量載荷大小 +.|RH  
•采用獨立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器 /?z3*x  
•快速的壓電陶瓷驅(qū)動的載荷反饋系統(tǒng) WlGT&m&2  
•雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石 YGc:84S  
技術(shù)參數(shù) 88?O4)c  
載荷范圍    400mN(800mN,1600mN可選) zE/\2F$  
載荷分辨率    0.03μN ;mwnAO  
深度范圍    250μm Y ZuA"l Y  
深度分辨率    0.003nm @^ m0>H  
熱飄逸    <0.05nm/s Mk+G(4p  
最大摩擦力    400mN SQx&4R.  
Sinus 模式分析(DMA)    20HZ