國家重點研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)項目“超光滑表面無損檢測儀”研制工作，10月9日在成都啟動。未來其將廣泛用于微電子集成電路、太陽能電池基片，及大型高功率固體激光系統(tǒng)、空間光學(xué)系統(tǒng)等設(shè)備檢驗檢測。 uXNp!tY  
C$y fMK,,N  
在集成電路、半導(dǎo)體等微電子芯片的基片制造，及激光器、空間望遠鏡等現(xiàn)代大型光學(xué)工程領(lǐng)域，超光滑表面無損檢測設(shè)備就像一把“光學(xué)卡尺”，能夠通過對彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)測量，極大提升我國上述領(lǐng)域的制造水平。由成都太科光電牽頭研制的“超光滑表面無損檢測儀”，將用于非透明物體超光滑表面，以及具有多層超光滑平行反射面透明物體的納米級表面形貌高精密測量，其測量面積達到Φ150mm，測量精度達到1毫米至700微米�！拜^大檢測面積和非接觸式精準測量，是該設(shè)備的最大特點。”成都太科光電總經(jīng)理趙智亮說，在納米級材質(zhì)的芯片檢測中，任何接觸都可能造成損傷，新儀器將以光學(xué)測量為基礎(chǔ)，采用多表面分離算法，實現(xiàn)非接觸式無損測量。同時，它還能在大型高功率激光系統(tǒng)、極紫外光刻、航空航天空間光學(xué)領(lǐng)域的大口徑元件面形、材料特性等參數(shù)測量領(lǐng)域發(fā)揮作用。