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EDX（能量色散X射線光譜儀）ASDF -Byl~n3*D  
不同元素的特征X射線在電子束撞擊樣品表面時會被激發(fā)出來。能量色散X射線光譜儀通過測量特征X射線的能量和強度來鑒別樣品中的元素組成并進行定量分析。該儀器通常與掃描電子顯微鏡（SEM）或透射電子顯微鏡（TEM）結合使用，能對微米及納米級別的區(qū)域進行元素分析。

優(yōu)勢	局限
zP/SDW   - 分析快速 "c![s%   - 廉價易得 LrV|Y~   - 非破壞性分析	B<~BX[   - 采樣深度大 u:,B&}j   - 無化學態(tài)信息 qVds 2   - 對輕元素靈敏度低 ;:bnLSPo   - 樣品須滿足超高真空條件 Ev48 |X6   - 半定量分析

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